Mise à jour et amélioration de la qualité de mise à plat des DMs (Kilo-C DMs de chez Boston Micromachines) avec un interféromètre ZYGO Verifire installé sur le banc SPEED.
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Décembre 2020: amélioration des cartes de mise à plat des Kilo-C DMs (Boston M.)
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UMR LAGRANGE
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